Журнал «Компьютерра» № 41 от 07 ноября 2006 года - Компьютерра

Драматические события, связанные с преодолением ограничений литографии, начались, когда рабочая длина волны уменьшилась до 193 нм (свет фторид-аргонового лазера). В 2001 году IBM объявила о начале разработки оборудования, использующего свет длиной волны 157 нм. Этот шаг повлек за собой множество трудностей: нужно было сконструировать и изготовить новый тип лазера, создать новые маски и материалы фоторезистов, потребовалось разрабатывать новую оптику, линзы для которой должны быть изготовлены не из стекла, а из фтористого кальция… На эти работы было выделено $760 млн., чего оказалось мало. Впоследствии бюджет проекта не раз увеличивался и к настоящему времени достиг почти $2 млрд.

Параллельно начался совместный проект IBM и Управления перспективных исследований Министерства обороны США (DARPA) по созданию литографического комплекса, использующего синхротронное излучение, длина волны которого лежит в области так называемого мягкого рентгена. На эти исследования и экспериментальные работы, не давшие к сегодняшнему дню практически значимых результатов, было выделено (и потрачено) чуть более $1 млрд.

Intel пошла другим путем. Свои стратегические надежды компания связала с технологией литографии на жестком ультрафиолете с длиной волны 13 нм (что, вообще говоря, позволяет и этот проект отнести к технологиям мягкого рентгена, но, видимо, Intel желает максимально дистанцироваться от работ IBM, особенно после конференции Sematech 2002 года. О событиях на этой конференции — чуть позже). Технологические трудности здесь оказались беспрецедентными, ведь даже от привычной линзовой оптики пришлось отказаться в пользу специальных многослойных зеркал довольно сложной геометрии. Сколько потрачено на эти работы компания не сообщает, однако многие специалисты придерживаются мнения, что эта технология никогда не будет внедрена из-за ожидаемой экстремально высокой стоимости оборудования и материалов.

В 2002 году на конференции Sematech исполнительный директор компании Taiwan Semiconductor Manufacturing Барн Лиин (Burn Lin) сделал доклад, произведший эффект разорвавшейся бомбы. Он привел серьезные аргументы в пользу того, что 157-нм литографический процесс не будет работать так, как ожидают в IBM, а кроме того, обратил внимание присутствующих на возможность достичь разрешения 32—45 нм с использованием обычного, давно используемого оборудования на 193 нм, дополнив технологию иммерсионным принципом — то есть поместив объектив фотолитографической установки в слой специальным образом подготовленной воды или другой жидкости, подходящей по оптическим свойствам. Весной 2005 года Брюс Смит (Bruce W. Smith) из Рочестерского технологического института на конференции инженеров-оптиков сообщил о возможности замены жидкофазной иммерсионной технологии твердофазной — при которой используется сапфировый слой, соприкасающийся со слоем фоторезиста. Этот принцип позволит уменьшить размер элемента схемы до 25 нм без принципиальных переделок существующего оборудования.

Немая сцена в исполнении Intel, IBM и DARPA…

Бедные страны в век высоких технологий

Автор: Ваннах Михаил

Было сие так давно, что знаем мы об этом лишь по легендам, сложенным над пахнущими водорослями и дохлой рыбой скалами Средиземного моря. Гласят те легенды, что и деньги — эти маленькие желтенькие кружочки, столь любимые всеми, и письменность — эти странные черненькие значки, доставляющие столько мучений детишкам, принес в Европу один и тот же человек. Герой Кадм, сын Агенора. Сидонский принц и основатель стовратных Фив.

Правда, бездушные ученые отрицают бытие Кадма, полагая его лишь персонификацией восточной мудрости. Дескать, Qadem — это семитическое «Восток».

Ну и что?

Пусть и не убивал Кадм дракона и не сеял его зубы…

В любом случае в древнейших архетипах европейской цивилизации деньги и информация, монеты и письмена удивительно тесно сплетены воедино. И как сейчас, в эпоху невиданного развития информационных технологий — далеких наследниц финикийского алфавита, — пребывают ли деньги с информацией в гармоническом единении? И становится ли от этого лучше людям? Хотя бы на уровне материальном? С самым богатым человеком планеты и ее крупнейшим благотворителем все в порядке — он из ИТ-отрасли. А вот как обстоят дела на противоположном полюсе?

ИНТЕРЕСНО

Стоимость возведения зданий завода Intel Fab 32 (Аризона) составила около $1 млрд. (втрое меньше, чем стоимость нового профессионального стадиона, построенного для футбольного клуба Phoenix Cardinals в той же Аризоне). Оставшиеся $2 миллиарда потрачены на создание технологических установок.

Вряд ли можно говорить о бедности на ранних этапах человеческой истории. Возьмем, к примеру, наши родные края. Отмотаем ленту времени лет эдак на пять тысяч назад. Вот бревенчатый дом в нынешнем российском Нечерноземье. Вот его насельник — сухощавый охотник. Вот один из объектов его охоты — заяц. До сих пор традиционная добыча россиян.

Но у быстроногого косого, который так вкусен в шпигованно-тушеном виде под гарниром из маринованной свеколки, есть одна интересная черта. Его численность удивительно сильно меняется. То — снег на полянах испещрен его следами, то — пусто. Численность зайца варьирует в Средней России в 30 раз, в Западной Сибири — в 65, а в Якутии — в целых 300 раз. Примерно с десятилетним циклом. Великий популяризатор родной природы Виталий Бианки рекомендовал детям начинать карьеру натуралиста с расспросов охотников — много ли в этом году зайца.

Почему такие перемены? Динамический процесс, описанный великим итальянским математиком Вольтерра и ставший легко доступным для исследования с появлением вычислительных машин, описывает систему «Популяция — ресурсы». Классические уравнения «хищник-жертва» Ричардсона. Гомеостатическая регуляция природы.

И если для современного городского охотника это пустяки, — ну прогулялся по морозцу, ну нет нужды извлекать шпиговальную иглу, а закусить придется запасенной для начинки жирной свининкой, — то промысловика ждала катастрофа. Представим себе — под стрехами вместо трех сотен зайцев, накопченных в изобильный год, висит жалкий десяток. Ну, пусть не десяток, пусть больше: все равно — неизбежны недоедание, голод, болезни, смерти детей и стариков. Популяция близкого природе, кормящегося присваивающим хозяйством человека регулируется теми же законами, что и остальных животных. Вот он — стимул к изобретению сельского хозяйства, к доместикации животных.

Там чуть лучше. Но все равно — засухи, наводнения… Беды, лишающие человека источников существования. Но в той сфере, где они вызваны природой, они служат сильнейшим стимулом к развитию естественнонаучных знаний и технологий. Вот география, землеописание. Так славно узнать, что на берегах Меотийского болота, Азовского моря по-нынешнему, изобилует соль, пригодная не только для приправы, но и для консервирования мяса. Так здорово наменять ее на шкурки тех же зайчишек. Вот и разделение труда, и начало экономики. Вот и стимулы к судовождению, кораблестроению… Там — астрономия, математика… Календарь нужен пахарю. И лемех плуга. Это уже металлургия!

Нужды порождают мотивацию к деятельности. Сладкий сон на островах Полинезии, Океании и Микронезии, изобилующих природными благами, — и лихорадочная деятельность в странах, бедных природными ресурсами. Дым кузниц Шеффилда, суета доков Лондона и Амстердама, откуда к пляжам тропических эдемов приходили фрегаты Тасмана и Кука. «Естественными дарами природы в их начальном виде люди перестают пользоваться не из-за какой-либо прихотливости, а по прямой необходимости, когда их число возрастает и недостаток места заставляет расселяться в страны, не обладающие условиями первобытного рая тропических местностей». Так писал в начале прошлого века в книге «Учение о промышленности» [СПб, 1900-1901 гг., вып. 1-2] Дмитрий Иванович Менделеев.

Современное распределение промышленности высоких технологий подтверждает слова великого ученого. Вот рекордсмены по числу населения — Китай и Индия. Где делается все материальное — в Китае?

И успехи индийских программистов тоже хорошо известны.

И впечатляют темпы роста этих экономик. Роста, обусловленного производством продукции высоких технологий.

И превосходные результаты Япония и Финляндия. Бедная ресурсами, Суоми еще и обладает суровым климатом, — но и в той, и в другой стране высочайший уровень жизни. Чудеса технологии?

А как же Россия? Почему ее интеграция в мировую экономику идет последние пятнадцать лет, скажем деликатно, не слишком блестяще? Сторонникам иной точки зрения предложу проехать сотню верст в любом направлении от МКАД или тридцать верст (тоже в любом направлении) от губернского города и внимательно поглядеть вокруг…